Kawasaki Cleanroom NX520

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O NX520 com 2 links, estrutura de braço rígido duplo que pode facilmente alcançar os estágios da bolacha com um espaço de alto desempenho de 200 bolachas por hora (WPH) de FOUP para o alinhador e, em seguida, no palco com um manipulador de braço duplo, atende aos padrões da norma ISO 1, sistema padrão SEMI-F47 de solução imediata para a queda de tensão e reinício do sistema automático quando a tensão é restaurada, padrão de proteção ambiental SEMI-S2, segurança pessoal, sistema anti-colisão.

Controlador D
 
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais , saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
 
Especificação do controlador D60
  • Servo completo sistema digital
  • Eixos controlados: 7 eixos máximos
  • Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
  • Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
  • Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
  • Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
  • Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
  • Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
  • Sinal de saída: máximo de 8 canais
  • Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificação do controlador D61
  • Servo completo sistema digital
  • Eixos controlados: máximo de 12 eixos
  • Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
  • Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
  • Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
  • Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
  • Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
  • Sinal de entrada: 96 canais máximos
  • Sinal de saída: máximo de 80 canais
  • Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificações principais
 
Número de eixos: 5
ISO Classe 1
Link: 2
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
 
Gama de movimento (°)
 
Eixo θ
(rotação JT2)
330 °
440 mm
Eixo Z
(JT3 para cima para baixo)
832 mm
336 °
Eixo X
(entrada / saída JT4)
 
Eixo W - inferior
(rotação JT6)
336 °
Eixo W - superior
(rotação JT7)
 

Aplicações de robô

Quarto limpo

 


Funções

Manipulação de peças , Montagem de peças

Fotos

Diagramas